В зависимости от легирования монокристаллического полупро водникового материала (кремния) можно добиться, чтобы изме нение сопротивления, например при положительной деформации (растяжении), было положительным или отрицательным. Степень легирования определяет чувствительность полупрово дникового тензорезистора. Полупроводниковые тензорезисторы, изготовленные таким об разом, подчиняются зависимости На рис. 12.9 показаны характеристики полупроводниковых тен- зорезисторов с дырочной (p-типа) и электронной (и-типа) прово димостями. Чем больше полупроводник легирован, тем меньше его чувствительность и тем прямее кривая. Выразить чувствительность полупроводникового тензорезисто ра коэффициентом к, аналогично металлическому тензорезисто- ру, невозможно из-за нелинейности его характеристики. Вместо этого используют коэффициент к, характеризующий наклон каса тельной при деформации е = 0 и относительной температуре То (см. рис. 12.9). Для обычных полупроводниковых тензорезисторов с дырочной проводимостью (p-типа) коэффициент к приближенно равен от 110 до 130, а с электронной проводимостью (п-типа) — от -80 до —100. Некоторые изготовители прилагают к своим полупроводниковым тензорезисторам индивидуально рассчитанные таблицы поправок, которые значительно облегчают потребителю оценку результатов измерения. Применение. Полупроводниковые тензорезисторы применяют ся для конструирования измерительных преобразователей. Исполь зуя те или иные конструктивные и схемные решения, добиваются линейности показания. При экспериментальном анализе напряже ний полупроводниковые тензорезисторы находят применение осо бенно в случаях, когда высокая чувствительность обеспечивает осо бые преимущества (например, большое отношение сигнал — шум, измерение очень малых деформаций), и в случае, когда их темпера турная зависимость не мешает или когда она по условиям эксплу атации может быть учтена (измерения в лабораторных условиях). Критерии выбора полупроводниковых тензорезисторов. По лупроводниковые тензорезисторы не выпускают в столь многочис ленных вариантах, как металлические тензорезисторы. Решетки их имеют только прямолинейную форму. Выбор базы решеток очень ограничен и находится в пределах от 0,7 до 10 мм. Резисторы поставляются в виде безосновных так называемых тен зорезисторов со свободной решеткой. 204
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==