о механических средствах измерения можно найти в соответствую щих стандартах и справочниках. 8.3. Оптико-механические средства измерения длин Оптико-механическими называются средства измерения геоме трических размеров, действие которых основано на использовании законов геометрической оптики (измерительные микроскопы, оп тиметры) или явлений интерференции когерентных пучков света (интерференционные микроскопы, компараторы). Распространенными приборами для линейных и угловых измере ний в микроэлектронике и смежных отраслях являются измеритель ные проекторы и измерительные микроскопы. Измерительные проекторы предназначены для проецирования теневого изображения (контура) изделий на экран и измерения их линейных и угловых размеров путем непосредственного срав нения теневого изображения с чертежом (исполненном в соответ ствующем масштабе) или вычерченным контуром изделия. Выпу скаются проекторы с разными размерами экранов (от 250 х 250, до 600 х 700 мм). Стол проектора, на котором устанавливается изделие, имеет возможность перемещаться в продольном, поперечном направле ниях и по вертикали. Перемещение стола отсчитывается по соот ветствующим шкалам с ценой деления 0,010...0,002 мм. Погреш ность при измерении длин с помощью проектора не превышает ±(0,003...0,005) мм. Некоторые типы современных проекторов снабжаются устрой ствами цифрового отсчета перемещения измерительного стола. Измерительные микроскопы предназначены для измерений длин и углов различных деталей сложной формы в прямоугольной или полярной системах координат. Различают несколько типов микро скопов: малый микроскоп инструментальный; большой микроскоп инструментальный, а также универсальные микроскопы. Несмо тря на конструктивные различия принципиальная схема измере ния во всех микроскопах общая — визирование различных точек деталей, перемещаемых для этого по взаимно перпендикулярным направлениям, и измерение этих перемещений посредством микро метрических или иных отсчетных устройств. Для обеспечения луч шего визирования микроскопы снабжаются сменными объектива ми различной степени увеличения. Измерительный микроскоп состоит из основания, на котором укреплены две меры длины вдоль двух взаимно перпендикулярных осей координат, стола для закрепления измеряемого изделия и ви зирного микроскопа. 127
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==