Магнитное поле Рис. 4.15. Электрическая схема сенсора Внешний вид частотно-резонансного манометра показан на рис. 4.16. С использованием описанной технологии удалось создать интегральный интеллектуальный прибор на основе двух резонаторов, заключённых в одну мембрану (рис. 4.17). Чувствительные элементы расположены так, что их деформации различаются по знаку при приложении разности давлений к сенсору: внешний сенсор растягивается (частота повышается), а внутренний - сжимается (частота понижается) (рис. 4.18). Наличие двух капсул с резонаторами позволяет одновременно измерять: - статическое давление (f2 + /}); - разность давлений (/) -/7); - температуру (7?). 243
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==