Резонатор Постоянный магнит Рис. 4.14. Кремниевая мембрана с сенсором Возбуждение колебаний и передача частоты механических колебаний в электрическую частоту происходят путём помещения резонатора в постоянное магнитное поле и пропускания переменного тока через тело резонатора в контуре возбуждения. Благодаря эффекту электромагнитной индукции в измерительном контуре возникает переменная эдс с частотой, равной частоте колебаний резонатора измерительного контура (см. рис. 4.15). Собственная частота ненагруженного контура составляет около 90 кГц. Собственную частоту резонатора определяют два параметра - масса и геометрические размеры, форма. Масса резонатора, находящегося в герметичной капсуле, измениться не может. Геометрические же размеры жёстко зафиксированы кристаллической решёткой кремния - одной из самой стабильной и упругой структурой. Этим объясняется феноменальная стабильность показаний манометра -0,1 % от верхнего предела измерений в течение десяти лет. 242
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==