Виброрезонансные датчики давления В 80-х годах прошлого века в связи с дальнейшим прогрессом микроэлектроники произошёл переход от резистивного и емкостного методов измерения давления к частотнорезонансному, или виброрезонансному. Его суть заключается в том, что под действием деформации мембраны происходит пропорциональное изменение частоты колебаний сенсора (от лат. sensus - чувство, ощущение). Уникальность технологии состоит в том, что удалось создать чувствительный элемент - сенсор чрезвычайно малых размеров (десятки микрон) в виде единого монокристалла кремния без швов и смычек. Он представляет собой камеру, в которой находится Н-образный резонатор (см. рис. 4.13). В качестве упругого элемента используется кремниевая диафрагма, в которой и расположен чувствительный элемент (рис. 4.14). Кремниевый резонатор имеет малый гистерезис и мало подвержен влиянию температуры. Вакуумная камера Рис. 4.13. Внешний вид сенсора 241
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==