Измерительный блок выдерживает без разрушения воздействие односторонней перегрузки избыточным давлением от 0,1 до 25 МПа в зависимости от модификации. Это обеспечивается тем, что при такой перегрузке одна из мембран 8 ложится на профилированную поверхность основания 9. Другой разновидностью электрических манометров является емкостной манометр, принцип действия которого заключается в изменении под действием давления ёмкости конденсатора, одной из обкладок которого является мембрана (рис. 4.12). Все свободное пространство между стенками камеры и мембраной обязательно заполняется несжимаемой жидкостью (обычно силиконовое масло). Рис. 4.12. Схема емкостного электрического манометра Для емкостных манометров характерны потенциально высокая термоустойчивость, быстродействие, стабильность, отсутствие шумов и самонагрева. К недостаткам резистивного и емкостного манометров относится остаточная деформация и механическая усталость центральной мембраны; для пьезорезистивного манометра - это нестабильность стеклянной подложки и дрейф сопротивления плёнок, связанный с диффузией примесей в материале. В них наличествует преобразование «деформация-сопротивление-ток» или «деформация-ёмкость-ток». 240
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==