4.4. Электрические измерители давления На сегодняшний день наибольшие успехи достигнуты в построении электрических манометров, реализующих резистивный, емкостной и виброрезонансный принципы измерения. Датчики типа «Сапфир» («Корунд») Работа первичных измерительных преобразователей типа «Сапфир», «Корунд» основана на использовании различных эффектов в структурах «кремний на сапфире». Исторически первыми в нашей стране появились манометры типа «Сапфир». Чувствительный элемент у них - плоская мембрана малого диаметра, деформация которой преобразуется в стандартный токовый сигнал 0 - 5, 0 - 20 или 4-20 мА. К поверхности стальной или титановой мембраны присоединён полупроводниковый тензорезисторный преобразователь. Он состоит из сапфировой монокристаллической подложки с определённой кристаллографической ориентацией, на которой методом гетероэпитаксиальной технологии выращена тонкая (толщиной не более 1 мкм) монокристаллическая пластина кремния, обладающая тензорезисторным эффектом. Разновидностью приборов «Сапфир» являются преобразователи «Корунд», выполненные по той же технологии. Преобразователи «Сапфир» имеют высокую точность, маленькую металлоёмкость, они компактны и малогабаритны. Их недостатками являются: некоторая сложность изготовления, смещение нуля выходного сигнала, а иногда и изменение характеристики во времени, влияние температуры на показания вследствие большого значения коэффициента объёмного расширения кремнийорганической жидкости, хотя «Сапфир» и имеет температурную компенсацию. Сапфир (греч. сталлг|еіроо, от древнеевр. саппир - синий камень) - минерал, голубая или синяя разновидность корунда, окрашенная примесью Ғе3 и Ті4+. Драгоценный камень первого класса. Красный корунд, окрашенный примесью Сг3+, называют 232
RkJQdWJsaXNoZXIy MTExODQxMg==